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장비기본정보

장비명
전계방사형주사전자현미경(New FE-SEM) (Field Emission Scanning Electron Microscope)
모델명
IT-800SHL
제작사(국가)
일본, JEOL Ltd.
취득일
2024.12.27
장비설명
-용도설명 : 고진공중에서 금속표면에 강한 양전위를 걸어 주어 전자를 표면으로부터 떼어내는 방식으로 열전자에 비해 전류밀도가 매우 높기 때문에 고휘도의 전자빔을 얻을 수 있다. 따라서 일반 주사 현미경보다 고분해능,고배율로 분석이 가능하고, 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 전체적인 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포확인이 가능하다.
-응용분야 : SEM 본체에 EDS를 부착하여시료의 전체적인 성분분석 가능
나노 수준의 미세구조 관찰
표면구조의 고해상도/고배율 관찰
금속, 무기재료, 반도체, 섬유, 세라믹, 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세 조직 관찰
에너지분산분석기(EDS)를 이용한 시료의 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포 확인 등
장비구성
및
성능
(FE-SEM)

-Electron Gun : In lens Schottky FEG
-Accelerating Voltage : 0.01 ~ 30kV
-Magnification : 30 ~ 200,000
-Resolution : 0.5㎚(15kV), 0.7㎚(1kV)

-Probe current : Max 500nA
-Image : SEI, BEI



(EDS)
-EDS detector: SDD type, LN2 free detector

-Sensor size: 170mm2

-Energy resolution: 127eV at Mn Ka

-Detection range: Be(4) to Am(95)

-Analysis software: Point, Area, Line-scan, Mapping EDS analysis
주의사항

본 장비는 담당 연구원에게 직접이용 교육을 이수받은 이수자와 직접이용 확인서를 제출하신 분들만 이용이 가능합니다.

장비 교육에 관한 문의는 담당 연구원(내선 3039)로 문의하여 주시기 바랍니다.

* 분석가능시간 - 평일(월~금) 오전09:30-17:30
ex) 09:30~10:30 (1시간), 13:30-15:30 (2시간)

* 예약 시각 준수. 예약 시각부터 요금 부과

* 직접사용만 가능한 장비 입니다.

* 당일예약불가

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장비이용안내

사용방법
직접사용
사용료유형
30분당
이용료
사용료: 70,000원
전처리: 15,000원/회
EDS: 10,000원/회
설치형태
고정
설치장소
206호
(주사전자현미경실)
장비상태
정상
담당자
김보경
연락처
029707256
팩스
사용방법
온라인
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